D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎(chǔ)款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。

Name: D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計
Brand: 華丞電子
Availability: InStock

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1997

服務(wù)熱線

0755-22275795

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

七星華創(chuàng)/華丞電子

氣體質(zhì)量流量控制器

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熱式氣體質(zhì)量流量控制器工作原理精準(zhǔn)氣體流量測控解析

為什么選擇熱式氣體質(zhì)量流量控制器？

高精度配氣儀的跨場景使用指南

產(chǎn)品介紹

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī) 藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè) 備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機(jī)連接實現(xiàn)自動控制。 D07系列質(zhì)量流量控制器一般與 D08系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。

特點：

　　• 橡膠密封、模擬電路的MFC

　　• 管狀分流，使用壽命長

D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計技術(shù)參數(shù)：

編號	類型	D07-7K 型	D07-7B 型	D07-7C 型	D07-7CM 型
1	流量規(guī)格	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	準(zhǔn)確度	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	線性	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	重復(fù)精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	響應(yīng)時間	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	10 sec
6	氣壓降	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	工作壓差范圍	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa
8	溫度系數(shù)	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	最大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	耐壓	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	輸入輸出信號	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
13	電源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	重量	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg